電子超純水
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高級別電子超純水整體解決方案

公司緊跟ITRS發展藍圖,致力于研究更成熟先進的工藝方案,服務于海力士、長江存儲、上海華力、無錫華虹、上海積塔、嘉興中晶、京東方、華星光電、中電熊貓、惠科光電等優質客戶,提供更可靠的集成電路/高世代面板超純水整體設計(包括制程水回用)方案,以及采購、安裝、調試、運維的一體化服務。


l UPW-HiDB超純水深度除硼工藝方案

SA+DP+PMB工藝包,離子交換效率高,出水硼可穩定<0.01ppb。

l UPW-HiDC超純水深度除TOC工藝方案

Dual UVox+PMB工藝包,方案成熟可靠,出水TOC可穩定<0.5ppb。


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